ASML澄清:EUV出口到中国大陆完全没有任何问题

众所周知,芯片是电子产品所必不可少的组件,芯片制造商要想成功地制造出芯片来,必须用到光刻机。对芯片制造商来说,光刻机就是核心的生产设备。

目前,全球仅有极少数的光刻机设备厂商能够研制出高端光刻机,而荷兰的ASML则拥有全球晶圆厂光刻机设备高达8成的市场份额,在干式曝光机、浸润式光刻机,EUV(极紫外线光刻机)的市场几乎处于独霸地位,台积电、三星、英特尔等国际半导体巨头都是其客户。

由于EUV光刻机的生产难度和成本都非常大,导致ASML的EUV全年出货仅12台,明年可望增加至20台,现累积未出货订单约27台,其中有5台已被台积电预订,费款高达5.5亿美元。

在国内,一直流传着一种声音:受西方《瓦森纳协议》的限制,中国只能买到ASML的中低端产品,出价再高,也无法购得ASML的高端设备。甚至还有人认为,台积电、三星等在制程上之所以大幅领先中芯国际,主要是因为ASML最先进的光刻机对大陆禁售。

那么,ASML的EUV光刻机真的对大陆禁售?到底是受产量限制,还是相传受到国际条约《瓦森纳协议》的制约?

近日,ASML中国区总裁金泳璇在接受媒体(DIGITIMES)采访时正式澄清,ASML对大陆晶圆厂与国际客户一视同仁,只要客户下单,EUV要进口到中国完全没有任何问题。在交期方面,所有客户也都完全一致,从下单到正式交货,均为21个月。

他还透露,目前已有大陆晶圆厂巨头与ASML展开7纳米工艺制程的EUV订单洽谈,2019年大陆首台EUV可望落地。

值得一提的是,中芯国际正好在今年3月宣誓进军7纳米,还表示已和ASML达成合作。由此看来,ASML所说的“大陆晶圆厂巨头”应是中芯国际无疑了!

没有EUV,大陆芯片制造死路一条。

作为集成电路制造过程中最核心的设备,光刻机至关重要,芯片厂商想要提升工艺制程,没有它万万不行,中国半导体工艺为啥提升不上去,光刻机被禁售是一个主要因素。

一般来说,一家芯片代工厂,从客户那里获得一个芯片生产订单开始算起,需要在60天内为该客户生产完所有硅片,这些硅片经过封装和测试等环节后,大约又需耗时一个月。不过,如果这家芯片代工厂采用EUV光刻技术,所用生产时长将会大幅缩短,并且产品良率也会提高很多。EUV最大的优点就是20多天即可出厂,而用其他工艺则要80多天。所以说,大规模量产必须要用到EUV。而且,没有EUV光刻机,大陆晶圆代工厂在7纳米之战中毫无胜算!

下附问答全文:

问:针对国内市场 、客户,各方现在传出许多声音,听说国内晶圆厂都预定不到EUV光刻机 “有钱难买EUV”?

答:首先,我必须澄清这绝非事实。中国本地的晶圆厂与所有国际客户,于ASML而言都是一视同仁的,只要是确认订单,EUV要进口到中国完全没有任何问题。由于EUV零组件多达5万多个部件,从客户下单到正式交货,交期约21个月,这个情况,对每个客户都是完全一致的。事实上,大陆客户已进入7纳米工艺制程技术研发阶段,并且与ASML展开EUV的商谈。如果最终订单确认,最快预期2019年EUV会首次移入中国晶圆厂,我们对在中国客户装入中国第一台EUV光刻机,抱持乐观的期待。同时认为一旦一家中国客户采用,其他客户也会快速跟进。

问:EUV似乎是持续推进摩尔定律、延续未来纳米工艺往下延伸的关键,未来进一步规划与ASML对摩尔定律的看法?

答:毫无疑问摩尔定律会继续下去,但每一制程技术节点之间的时间会延长,技术与资本门槛变得更高。浸润式显影技术走到三重曝光(triple-patterning)阶段,成本已然超过EUV,生产交期更长、技术更为复杂,从量产的性价比角度,EUV在7纳米以下技术节点已属于最适方案。目前EUV光源已经可达250watt,达到每小时量产125片12吋晶圆,下一阶段5纳米技术节点以下High-NA EUV已经在布局研发。

问:目前中国市场业务布局与销售情况如何? 2017年全年成长幅度与2018年的增长率预估?

答:全球半导体行业版图位移,不仅本地晶圆厂,包括国际晶圆厂也在增加中国投资,ASML预期,中国光刻机市场规模具30亿欧元潜力。总体而言,目前ASML在中国市场的装机量累积已达约500台,2018年可望续增超过50台的装机量。不仅一线大客户,还涵盖许多中、小型晶圆厂共计多达40多家客户。从销售额轨迹来看,中国市场销售额在2013-2015年维持持平,2016年微幅成长至6亿欧元,2017年上半年中国市场销售水平已达4亿欧元,因此今年将较去年将有明显增长。由于中国晶圆厂2018-2019年持续投入资本扩充产能,ASML 2018年销售很可能创下中国区销售新高的纪录,而2019年也会持续呈现更明显的跳跃式增长。

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评论 2

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  1. TacuLee
    TacuLee看来《瓦森纳协议》又被更新了。大陆内地能购买EUV光刻,虽然并不能提高大陆半导体厂商的芯片设计水平,但是制造成本的降低有利于设计厂商以更低的研发成本设计出更好芯片。希望SMIC好好加油,把模型做好。回复
  2. TacuLee
    TacuLee从台积电谈谈瓦森纳协议体系下的全球半导体产业(http://www.txrjy.com/thread-951101-1-1.html)回复